Институт ионно-плазменных технологий Академии наук Республики Узбекистан совместно с инженером Роландом Кёгелем из немецкой компании SENTECH Instruments GmbH завершил полный цикл пусконаладочных работ высокотехнологичного кластера оборудования, состоящего из установок SI PEALD и SI 500 D ICPECVD.
